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為新凱來光刻機配套原子層臭氧清洗設備的廠家是國林科技國林科技是國內臭氧發生器龍頭企業，同時也是新凱來產業鏈核心供應商一 技術能力1 是國內唯一實現5nm制程臭氧設備量產的企業，掌握臭氧超純水聯合清洗技術，臭氧濃度控制精度達±1ppm二 設備應用1 可利用臭氧設備為新凱來的半導體設備。

一 金大萬翔關聯臭氧設備企業概況公開信息中提及兩家金大萬翔相關環保企業1 浙江金大萬翔環保技術有限公司民營環保技術企業，專注臭氧發生系統和高級氧化設備的研發制造與應用服務，可提供模塊化集裝箱板式臭氧發生器等關鍵設備2 北京金大萬翔環保科技有限公司專注臭氧發生器研發制造與環保工程。

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臭氧的品牌包括亞都新松美的飛利浦等臭氧發生器作為一種用于產生臭氧的設備，在市場上擁有多個知名品牌以下是對部分品牌的詳細解釋1 亞都臭氧品牌亞都是國內知名的臭氧技術企業，其生產的臭氧發生器以高效穩定安全著稱亞都的臭氧設備廣泛應用于水處理空氣凈化等領域，得到了廣大用戶。